JKA（競輪）補助事業導入機器（平成28年度）
［キュービックスパッタ装置］
本機器は、真空中で金属・電子材料の薄膜を製造する真空装置で様々な薄膜形成が可能で、主に以下の用途に利用することができます。
・機械部品・材料の表面処理に関する試験研究
・機械電子部品の機能性薄膜の形成
・電子部品・電子材料分野における成膜試験
・機械・自動車関連製品の耐久性向上に関する試験研究
〈規格形式〉 SSP1000 キュービックスパッタ装置
〈製 造 者〉 株式会社管製作所
機器整備（H28_JKA補助）
